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| EMISSION MICROSCOPE |
▶ Computer 의 기능 강화 불 필요 - 비파괴 검사
▶ 0.1 ㎛의 분해 능력, 실시간의 초 미세 형상 관찰 가능
▶ Sample 준비의 불 필요
▶ 고가의 UV Laser 불 필요
▶ 놀라운 240 - 270 ㎚의 수은 Lamp
▶ 25,000 배 까지의 배율 |
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DUV-250 현미경은 deep UV(ultraviolet), 광학, 조명 및 형상기술의 조화로 이루어져 있으며 차세대의
Integrate Circuit(IC) 등의 초 미세화된 부분도 관찰이 가능하도록 만들었다. 유일하게 25,000 배의 고
배율을 갖고있는 DUV-250 현미경은 따로 Sample 을 준비할 필요가 없이 초 미세 반도체를 빠르게
check 할 수 있음을 가능하게 하였다. DUV-250 현미경은 초 미세 세계의 시각화를 이루어낸 의미 있
는 현미경이다. DUV-250 현미경은 가시광선 이용 현미경과 전자 주사 현미경의 갭을 채워주었다.
초 미세 level의 electron beam은 etch전에 인가 될 수 있도록 절연한 후에 검사 할 수 있는 OPC
feature 같은 Photomask를 발생시켰다. High Power DUV-250의 실시간 Pole Tip 검사기능은
Magnetic Head 생산업체들에게 적지않은 이득을 안겨주었다. 25,000배 까지의 Magnification 이 가능
한 DUV-250 현미경은 0.18 micron 또는 그 이하의 미세한 형상도 볼 수 있도록 하였다. 상기 그림들은
0.18 micron 폭의 Polysilicon conductor 를 보여주고 있다. 여러 line 의 초 미세 형상은 Silicon 제 2 산화물의 불용성층을 통해 보여진다 . | |
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Sub-micron features
resolved as intended |
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l open 0.018Micron
Poly line |
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Multiple open
0.018Micron Poly line | |
| Specifications: |
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▣ Infrared CCD Camera and Control Module
＊ spectral Response : 400 ㎚ to 1200 ㎚ (Visible to NIR)
＊ Pixels : 380,000 pixels with 100% pixels light sensing area, ZERO geometry distortion. |
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| ▣ Video Monitor : 9 ” , 12 ” or 14 ” High resolution B/W |
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▣ Infrared Microscope : all NIR class :
＊ Optical path switching (eyepieces and camera)
＊ stand and stage with Micron precision grade, 8”x8” travel.
＊ MTI long working distance objective lenses. | |
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